ASM推出全新碳化硅外延机台，引领行业新标杆

近日，全球领先的半导体技术解决方案提供商ASM先晶半导体在首届湾芯展(SEMiBAY 2024)上发布了其最新研发的PE2O8碳化硅外延机台。这款新型机台是ASM碳化硅外延机台产品组合的进一步增强，具备独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，不仅提高了产量，还降低了成本。

随着电气化趋势的加速，碳化硅在功率器件领域的应用越来越广泛，特别是在电动汽车、绿色能源和先进数据中心等领域。同时碳化硅器件的制造成本也成为了制造商关注的焦点。ASM的PE2O8机台凭借其独特的设计，实现了高产量和吞吐量的提升，同时保证了高生产率和低运行成本。

PE2O8机台采用了先进的预防性维护措施，有效延长了设备的正常运行时间，减少了计划外停机时间。这一创新设计不仅满足了碳化硅功率器件制造商的需求，也为整个碳化硅设备市场带来了新的机遇。

ASM公司副总裁兼等离子体和外延业务部门负责人Steven Reiter表示，碳化硅功率产品正处于技术转折期，ASM作为行业标杆，一直致力于提升工艺一致性，降低拥有成本。PE2O8机台的推出，标志着ASM在碳化硅领域的产品组合得到了进一步升级，为客户创造更高的价值。

ASM先晶半导体是一家成立于1968年的荷兰公司，半个多世纪以来，一直致力于推动半导体技术的创新与发展。通过不断的技术研发和产品创新，ASM已在原子层沉积、外延、化学气相沉积等领域取得了卓越成就。目前ASM已在全球16个国家和地区建立了分部，为全球客户提供高质量的半导体技术解决方案。

未来，ASM将继续致力于碳化硅外延设备的研发和创新，以满足日益增长的市场需求。同时ASM也将继续拓展全球市场，与更多的合作伙伴携手共进，共同推动半导体行业的发展。